Порошковые фильтрующие картриджи из нержавеющей стали с интерфейсами VCR 1/2" являются важнейшими компонентами в производстве полупроводников и специально разработаны для газораспределительных систем высокой-чистоты. В этих фильтрующих картриджах используется передовая технология спекания металлического порошка для достижения точной фильтрации, эффективно улавливая частицы размером до 5 микрон. Это обеспечивает подачу сверх-чистых технологических газов, которые необходимы для поддержания целостности чувствительных процессов производства полупроводников. Интерфейс VCR 1/2" обеспечивает герметичное-уплотнение металл-к-металлу, отвечающее строгим требованиям полупроводниковой среды, где даже мельчайшие газовые примеси могут привести к значительным дефектам в микроэлектронных устройствах. Их прочная конструкция из -стойкой к коррозии нержавеющей стали гарантирует долговечность и-надежность в течение длительного времени в экстремальных условиях.

В полупроводниковых приложениях эти фильтрующие картриджи играют жизненно важную роль в защите последующего оборудования, такого как регуляторы массового расхода и прецизионные клапаны, от загрязнения твердыми частицами. Благодаря полной интеграции в существующие газопроводы-чистоты они упрощают установку и обслуживание, сводя к минимуму время простоя системы. Сочетание высокой эффективности фильтрации, исключительной химической стойкости и надежного уплотнения делает их незаменимыми для обеспечения постоянной чистоты газа и эффективности работы на современных предприятиях по производству полупроводников.

Характеристики продукции

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces

Материал: порошок 316L.
Размер: φ40*196,3 мм
Точность фильтра: 5 микрон
Интерфейс: видеомагнитофон 1/2"
Технические: спекание

Особенности продукта

5 microns Stainless steel powder filter cartridges with VCR 12 interfaces 3

1. Сверхвысокая чистота и удержание частиц
- Конструкция из спеченной нержавеющей стали (обычно 316L) обеспечивает чистую цельнометаллическую фильтрующую среду без связующих веществ, клеев или органических остатков.
- Способен задерживать субмикронные частицы размером до 0,5 мкм, предотвращая попадание микрозагрязнений в технологические камеры или пластины.
- Отсутствие высыпания частиц, что обеспечивает стабильное количество частиц при длительном использовании.

2. Надежная механическая и термическая стабильность.
- Цельнометаллическая конструкция выдерживает высокое давление, высокую температуру и частые термические циклы.
- Сохраняет механическую целостность в условиях вибрации, обратного потока или пульсаций давления,-обычных в газораспределительных системах.
- Совместимость с системой обогрева для высокотемпературных газопроводов.

3. Очищаемый и регенерируемый
- Фильтрующие элементы можно промывать обратной промывкой, очищать ультразвуком или запекать в вакууме, что обеспечивает более длительный срок службы по сравнению с полимерными или керамическими фильтрами.
- Типичный жизненный цикл увеличивается в 5–10 раз по сравнению с одноразовыми фильтрами из ПТФЭ или ПВДФ, что сводит к минимуму время простоя и общую стоимость владения.

4. Химическая совместимость и коррозионная стойкость.
- 316Нержавеющая сталь L сохраняет пассивную оксидную пленку в средах с хлоридом, фтором, аммиаком и кислыми газами.
- Инертная поверхность предотвращает экстракцию ионов металлов или изменение состава газа.

приложения

1. Газораспределительные линии сверхвысокого давления
- Устанавливается в узлах подачи массового газа, газовых шкафах и панелях VMB/VMP и отфильтровывает частицы до того, как газ попадет в MFC или технологические инструменты.
- Используется в линиях N₂, Ar, H₂, He, O₂, NH₃, CF₄ и других газах высокой чистоты, питающих критически важные процессы.

2. Защита на входе регулятора массового расхода (MFC).
- Предотвращает загрязнение частицами и износ клапанов в прецизионных регуляторах массового расхода.
- Повышает долговременную стабильность потока и согласованность калибровки MFC.

3. Технологическая камера и входы инструментального газа.
- Обеспечивает доставку без частиц и влаги в печи CVD, ALD, травления и диффузии.
- Используется в линиях SiH₄, WF₆, BCl₃, PH₃ и TEOS, где чистота имеет решающее значение для качества пленки и выхода.

4. Системы специального газа и прекурсоров
- Для металлоорганических газов или газов на основе галогенов, где химическая инертность и температурная стабильность имеют решающее значение.
- Часто размещается после испарителей или барботеров для улавливания конденсированных частиц или капель.

Связаться с нами

Тел: 0917-3873009

Телефон: +86 18992731201

Электронная почта:zhangjixia@bjygti.com

Факс: 0917-3873009

Адрес: №. 195, проспект Гаосинь, зона развития высоких-технологий, город Баоцзи, Шэньси, Китай.

WhatsApp: +86 18992731201

горячая этикетка : Картриджи для порошковых фильтров из нержавеющей стали 5 микрон с интерфейсом видеомагнитофона 1/2 дюйма, Китай, поставщики, производители, индивидуальные, использование, прайс-лист, продажа, в наличии, бесплатный образец, пористый материал

Товары

Патроны порошкового фильтра нержавеющей стали 5 микронов с интерфейсами видеомагнитофона 1/2"

Характеристики продукции

Особенности продукта

приложения

Связаться с нами