Мишени для распыления титана высокой чистоты

Мишени для распыления титана высокой чистотыявляются источниками распыления, которые образуют различные функциональные тонкие пленки на подложках с помощью магнетронного распыления, многодугового ионного осаждения или других типов систем покрытия при соответствующих условиях процесса. Проще говоря, материал мишени — это материал мишени, бомбардируемый высокоскоростными заряженными частицами.

Он используется в высокоэнергетическом лазерном оружии. Когда лазеры с разной плотностью мощности, разной формой выходного сигнала и разной длиной волны взаимодействуют с разными целями, они наносят разные поражения и повреждения. эффект. Например: испарительное магнетронное напыление, покрытие с напылением при нагреве, алюминиевая пленка и так далее. Путем замены различных материалов мишеней (таких как мишени из алюминия, меди, нержавеющей стали, титана, никеля и т. д.) можно получить различные пленочные системы (такие как сверхтвердые, износостойкие пленки, пленки из антикоррозионных сплавов и т. д.).

Параметры

Функции

1. Легкий вес

2. Высокая удельная прочность

3. Коррозионная стойкость

4. Высокая и низкая термостойкость

Приложения

★ Судостроение ★ Электролитическое покрытие ★ Авиакосмическая промышленность ★ Химическая промышленность ★ Медицинское оборудование

Подробности

Изготовлен из высококачественного сырья, износостойкий и устойчивый к коррозии, долговременное использование

Отсутствие шелушащихся трещин на поверхности, отсутствие масляных пятен, гладкая и чистая боковая поверхность

Полные спецификации, произвольная резка, поддержка нестандартной настройки

Чистота целевого материала оказывает большое влияние на характеристики пленки. Чистота – один из целевых показателей эффективности.

Чистота

Чистота мишени является одним из основных показателей эффективности мишени, поскольку чистота мишени сильно влияет на характеристики пленки. Однако в реальных приложениях требования к чистоте целевого материала неодинаковы. Например, с бурным развитием микроэлектронной промышленности размер кремниевой пластины был увеличен с 6", 8" до 12", ширина разводки уменьшилась с 0,5 мкм до 0. 25 мкм, 0,18 мкм и 0,13 мкм. Ранее целевая чистота составляла 99,995 %.

Содержание примесей

Основным источником осаждаемой пленки являются кислород и влага целевых твердых частиц и пор. Мишени для различных приложений имеют разные требования для разных уровней примесей. Например, к мишеням из чистого алюминия и алюминиевых сплавов, используемых в полупроводниковой промышленности, предъявляются особые требования по содержанию щелочных металлов и радиоактивных элементов.

Плотность

Чтобы уменьшить поры целевых твердых тел и улучшить характеристики напыленных пленок, мишени обычно должны быть более плотными. Плотность мишени влияет не только на скорость распыления, но и на электрические и оптические свойства пленки. Чем выше плотность мишени, тем лучше качество пленки. Кроме того, когда плотность и интенсивность мишени повышаются, мишень может выдерживать термическую нагрузку во время распыления. Плотность — один из целевых показателей эффективности.

Размер зерна и распределение по размерам

Обычно мишень является поликристаллической, а размер частиц может составлять от микрометров до миллиметра. В случае одной и той же мишени скорость распыления мелкозернистой мишени выше, чем скорость распыления крупнозернистой мишени, в то время как распыление мишени с меньшим размером частиц (равномерное распределение) имеет равномерное распределение по толщине (равномерное) . Распределение.

Если вы заинтересованы вмишени для распыления титана высокой чистоты, Пожалуйста, не стесняйтесь обращаться к нам:

Эл. адрес:zhangjixia@bjygti.com

Домашняя страница:http://www.toptitech.com

горячая этикетка : мишени для распыления титана высокой чистоты, Китай, поставщики, производители, индивидуальные, использование, прайс-лист, продажа, в наличии, бесплатный образец, пористый материал