Титановые пористые геттеры – это пористые конструкционные материалы, изготовленные из чистого титана методом порошковой металлургии (например, изостатическое прессование + вакуумное спекание). Его основными особенностями являются высокая пористость (обычно 30-40%), большая удельная поверхность и присущая титану высокая химическая активность, которая позволяет ему эффективно адсорбировать различные газы при высоких температурах.
В вакуумных системах геттерные материалы, такие как титан, часто нагреваются для выделения химически активных газов, которые затем вступают в реакцию и поглощают любые молекулы остаточного газа, присутствующие в вакуумной камере. Этот процесс помогает поддерживать желаемый уровень вакуума за счет эффективного удаления нежелательных газов, которые могут помешать работе системы.
1. Фундаментальные принципы
Титановые геттеры — это не-испаряющиеся геттеры (НЕГ), которые химически адсорбируют химически активные газы (H₂, O₂, N₂, CO и т. д.) посредством образования стабильных соединений (например, TiH₂, TiO₂).
Их эффективность обусловлена:
Большая площадь поверхности
Экзотермические реакции с газами при температурах активации 400-800 градусов.
Низкое равновесное давление
2. Промышленное применение
Вакуумная электроника
Поддерживайте сверх-высокий вакуум в рентгеновских- трубках и ускорителях частиц.
Производство полупроводников
Контроль остаточных газов в камерах осаждения (например, предотвращение окисления меди)
Хранение энергии
Очистка водорода для топливных элементов
Аэрокосмическая промышленность
Спутниковые двигательные установки (адсорбция H₂ в результате разложения гидразина)
