3/4" спеченный патрон фильтра порошка СС316Л с наружной резьбой для фильтрации циркуляции Слурры КМП

Порошковый фильтрующий картридж TOPTITECH с наружной резьбой 3/4 дюйма из спеченной стали SS316L специально разработан для циркуляционной фильтрации суспензии CMP в процессах планаризации полупроводниковых пластин. Холодное изостатическое прессование и высоко-температурное вакуумное спекание преобразуют газо-распыленный порошок нержавеющей стали 316L в жесткую монолитную пористую структуру с контролируемым распределением пор по размерам. Соединение с наружной резьбой 3/4 дюйма обеспечивает прямую-замену в существующих системах подачи суспензии CMP, включая контуры рециркуляции и узлы-точного-использования на коллекторе полировальной колодки. Механизм глубинной фильтрации улавливает крупные частицы загрязнений-агломераты кремнезема, остатки церия и слишком крупные абразивы-в сети взаимосвязанных пор, сохраняя при этом целостность суспензии абразива. Степень фильтрации от 0,2 до 65 мкм подходит как для суспензий оксидов кремнезема-, так и для суспензий STI на основе церия-.

Соединения, разрушающие суспензию CMP,-такие как абразивные агрегаты, частицы геля от разрушения поверхностно-активных веществ, металлические остатки от коррозии трубопроводов и побочные бактериальные продукты от рециркуляционного хранения-постоянно оседают в фильтрационной корке на поверхности картриджа. Цельно-металлическая конструкция устраняет риски миграции среды, типичные для картриджей на основе полимеров или волокон-, предотвращая дефекты пластины на последующих этапах, включая микроцарапины, помутнение и повреждение рисунка из-за загрязнения инородными частицами.. 3/4-дюймовый порошковый фильтрующий картридж из спеченной наружной резьбы из нержавеющей стали SS316L выдерживает многократные циклы щелочной очистки (pH 10–12) и ультразвуковую регенерацию без структурной деградации. Этот картридж можно использовать повторно в нескольких производственных кампаниях. Срок службы 5–10 лет по сравнению с 2–4-недельными циклами замены одноразовых полимерных альтернатив, что значительно снижает затраты на расходные материалы и время простоя полупроводникового производства.

• Материал: порошок SS316L
• Размер: φ40*400 мм
• Размер пор: 0,5 мкм
• Разъем: 3/4: наружная резьба
• Пористость: 30%-40%
• Техника: Синтеринg

I. Удержание частиц без риска обхода-прохода

Сферический порошок 316L, -распыленный газом, уплотняется и спекается в монолитную матрицу глубинной фильтрации, обеспечивая абсолютную номинальную степень удаления от 0,2 до 60 мкм. Спеченная структура исключает внутренние обходные каналы и миграцию среды, характерную для намотанных или ламинированных конструкций. Глубинная фильтрация улавливает абразивные агломераты-кремнезема, церия, агрегаты оксида алюминия-по всей пористой сети, а не только на поверхности. Характеристики отсутствия осыпания предотвращают загрязнение расположенных выше контуров рециркуляции навозной жижи и узлов дозирования подушечек. Точное распределение пор по размерам, полученное в результате холодного изостатического прессования и спекания в водородной атмосфере, обеспечивает постоянную эффективность фильтрации в нескольких производственных партиях.

 

 

II. Высокая грязеемкость и увеличенный срок службы

 

Картридж с наружной резьбой 3/4 дюйма обеспечивает большую грязеемкость, улавливая соединения, разлагающие суспензию,-частицы геля от разрушения поверхностно-активных веществ, металлические остатки от коррозии трубопроводов, побочные бактериальные продукты от хранения при рециркуляции-с низким начальным перепадом давления. Высокая пористость (30–40 %) и однородная пористая структура обеспечивают высокую проницаемость и низкое сопротивление фильтрации при непрерывной циркуляции суспензии CMP. Увеличенный срок службы снижает частоту замены фильтра, что особенно важно. для высокопроизводительных производств по производству пластин.

III. Превосходная химическая и термическая стабильность

Спеченная конструкция SS316L выдерживает экстремальные условия pH (pH 10–12), встречающиеся в составах суспензий на основе диоксида кремния и церия. Содержание молибдена обеспечивает стойкость к точечной коррозии и защиту от хлоридного коррозионного растрескивания по сравнению с марками 304L. Цельнометаллическая монолитная конструкция устойчива к повреждениям от высокого давления, переменных циклов нагрузки и колебаний температуры во время работы рециркуляционного насоса.

 

IV.Возможность очистки, регенерации и низкая совокупная стоимость владения

 

Цельнометаллическая конструкция поддерживает несколько методов очистки: обратная промывка, ультразвуковая ванна или высокотемпературное окислительное выжигание. Циклы щелочной очистки (pH 10–12) и ультразвуковая регенерация восстанавливают первоначальную проницаемость без структурной деградации. Срок службы картриджа увеличивается в 5–10 раз по сравнению с одноразовыми полимерными (ПТФЭ/ПВДФ) или фильтрами на основе волокна, что значительно снижает затраты на расходные материалы и время простоя инструмента.

V. Модернизация с прямым вставным соединением с наружной резьбой 3/4 дюйма

Соединение с наружной резьбой 3/4 дюйма NPT легко интегрируется в существующие системы подачи суспензии CMP-петли рециркуляции, узлы в точках использования на коллекторах полировальных площадок-без дополнительных адаптеров. Совместимо со стандартными корпусами фильтров, что позволяет заменять их на месте за считанные минуты. Приваренные лазером торцевые крышки и сварные интерфейсы гарантируют отсутствие утечек в средах с высоким потоком и высокой вибрацией при изготовлении пластин. Настраиваемый конец Фитинги, типы резьбы и габаритные размеры доступны в соответствии с требованиями заказчика.

 

VI. Работает в условиях высокотемпературных газов и жидкостей

 

Распространяется не только на шламовую фильтрацию, но и на газораспределительные линии, паровую фильтрацию и передачу химикатов высокой чистоты. Подходит для высокотемпературной фильтрации газа до 600 градусов, обладает термической стабильностью в циклах стерилизации в автоклаве, где полимерные мембраны разлагаются. Обеспечивает дополнительные функции: снижение шума при пневматическом выпуске, буферизацию газа в пневматических средствах управления инструментом CMP и подавление пламени для линий опасного газа.

1. Циркуляционная фильтрация суспензии CMP при планаризации полупроводниковых пластин.

Порошковый фильтрующий картридж из спеченной стали 3/4 дюйма с наружной резьбой SS316L удаляет слишком крупные абразивные агломераты (кремнезем, церий, коллоидный кремнезем) из суспензии химико-механической выравнивания, сохраняя при этом эффективные полирующие частицы в диапазоне 10–200 нм. Матрица глубинной фильтрации улавливает частицы загрязнений-кремнеземные частицы в результате кондиционирования колодки, частицы геля в результате разрушения поверхностно-активных веществ, металлические остатки из труб коррозия-внутри взаимосвязанной сети пор без обходных каналов. Абсолютное удержание устраняет микроцарапины, помутнение и повреждение рисунка на поверхностях пластин, напрямую повышая производительность матрицы при изготовлении усовершенствованной логики и памяти. Подходит непосредственно к узлам--использования и контурам рециркуляции инструментов CMP, с наружной резьбой NPT 3/4 дюйма, позволяющей быстро заменять корпус без модификации корпуса.

2. Восстановление катализаторов в нефтеперерабатывающих и нефтехимических процессах.

Фильтрующий картридж из спеченной порошковой стали 3/4 дюйма с наружной резьбой из нержавеющей стали SS316L работает под высоким перепадом давления (>30 бар) при разделении жидкости и твердых веществ и газа и твердых веществ в установках гидрокрекинга, гидроочистки и установках FCC. Улавливает катализаторы из драгоценных металлов (платина, палладий, никель Ренея) и катализаторы крекинга на основе цеолита из потоков выходящих продуктов реактора, извлекая частицы катализатора размером до 0,5 мкм. Высокая степень открытия. пористость (30–50%) и жесткая спеченная сетка противостоят эрозии из-за высокоскоростных потоков суспензии катализатора, что позволяет продлить циклы эксплуатации между регенерациями обратной промывки.

3. Высокотемпературная-очистка газа и пара.

Порошковый фильтрующий картридж из спеченной стали 3/4 дюйма с наружной резьбой SS316L выдерживает непрерывную работу при температуре до 600 градусов в окислительной атмосфере, что делает его пригодным для предварительной фильтрации при десульфурации дымовых газов, защиты датчика системы непрерывного мониторинга выбросов (CEMS) и высокотемпературного удаления пыли из синтез-газа газификатора. Выполняет фильтрацию сухого пара при температуре 200–300 градусов, удаляя частицы ржавчины, трубную окалину и углеродистые отложения, которые повреждают стерильный пар. стерилизационные фильтры на выходе. Также применимы для удаления масла из сжатого воздуха, удаления запотевания в газожидкостных коагуляторах и стерильной вентиляции в ферментерах и биореакторах.

4. Обработка коррозионными химикатами и растворителями

Содержание молибдена в 316L обеспечивает устойчивость к точечной коррозии в хлоридсодержащих средах (морская вода, отбеливатель, соляная кислота), где нержавеющая сталь 304 не справляется. Порошковый фильтрующий картридж из спеченной стали 3/4 дюйма с наружной резьбой SS316L фильтрует сильные полярные растворители (ДМФ, NMP, ацетон), концентрированную серную кислоту, растворы каустической соды и органические кислоты без разрушения материала. Глубинная фильтрация улавливает мелкие частицы катализатора из реакторов гидрирования, удаляет остатки полимеризации из контуров рециркуляции мономеров и осветляет теплоносители в нефтеперерабатывающих системах. Широкая химическая совместимость подходит как для непрерывной технологической фильтрации, так и для периодических операций с частым использованием растворителя. переналадки.

5. Водородная энергетика и электролизные системы.

Микропористая спеченная структура 316L служит слоем диффузора водорода в электролизерах PEM и системах электролиза щелочной воды. Порошковый фильтрующий картридж из спеченной нержавеющей стали 3/4 дюйма с наружной резьбой улавливает ионные примеси и твердые частицы из рециркулирующих потоков электролита, защищая сборки мембранных электродов от разрушения. Также используется в качестве элемента разделения газа-жидкости на выходах электролизера, удаляя унос влаги из газообразного продукта водорода перед сжатием и хранением.

6. Промышленная очистка воды и сточных вод

Порошковый фильтрующий картридж из спеченной нержавеющей стали с наружной резьбой 3/4 дюйма полирует пермеат обратного осмоса в полупроводниковых системах сверхчистой воды, удаляя следовые частицы размером до 0,22 мкм в соответствии со стандартами SEMI для промывки пластин. Используется при фильтрации пластовой воды для закачки на месторождениях нефти, удаления взвешенных твердых частиц из обратного потока гидроразрыва и продувки градирни. Также применим в качестве фильтра окончательной полировки в обратных линиях CIP, улавливая сварные швы. брызги, остатки прокладок и продукты коррозии из трубопроводных сетей из нержавеющей стали.

Тел: 0917-3873009

Телефон: +86 18992731201

Электронная почта:zhangjixia@bjygti.com

Факс: 0917-3873009

Адрес: №. 195, проспект Гаосинь, зона развития высоких-технологий, город Баоцзи, Шэньси, Китай.

WhatsApp: +86 18992731201

горячая этикетка : 3/4-дюймовый спеченный порошковый фильтрующий картридж из нержавеющей стали ss316l с наружной резьбой для фильтрации циркуляционной жидкости CMP, Китай, поставщики, производители, индивидуальные, использование, прайс-лист, продажа, на складе, бесплатный образец, пористый материал